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一站式隔振解决方案

Herz

Herz GmbH(赫兹有限公司)成立于1986年,总部位于德国斯图加特附近的温德巴赫(Wendlingen),是全球高灵敏度振动隔离系统的***制造商。作为一家典型的“德国隐形***”,Herz 不追求大规模量产,而是专注于为光学、计量、半导体检测及生命科学领域提供纳米级稳定性的定制化解决方案。
  • 核心使命:在微观世界中,微小的地面振动足以摧毁成像质量或测量精度。Herz 的使命是通过创新的机械与气动设计,将环境噪声彻底“静音”,为***仪器创造一个***静止的基准平台。
  • 技术基因:Herz 的核心竞争力在于其***的三维空气弹簧技术高阻尼材料科学的完美结合。不同于普通气浮台仅关注垂直隔振,Herz 的系统在水平、垂直及旋转六个自由度上均实现了卓越的隔振性能,特别是在难以处理的1-5Hz 低频段表现优异。
  • 行业地位:Herz 是欧洲众多***显微镜制造商(如蔡司、徕卡的某些高端定制线)、半导体检测设备商及***计量院的***合作伙伴。其产品在共聚焦显微镜、干涉仪、晶圆检测设备及量子光学实验中被视为“黄金标准”。
  • 设计理念“刚性台面 + 柔性支撑 + 智能阻尼”。Herz 坚持使用高刚性的花岗岩或蜂窝钢台面,配合其专利的低频空气弹簧和内置的高阻尼机制,确保系统在具备极低固有频率的同时,能迅速衰减瞬态冲击,避免长时间的“晃动”等待。

2. 主要产品系列:主动与被动技术的完美融合

Herz 的产品线高度聚焦于高精度光学与检测仪器,其核心产品包括主动隔振模块DT系列气浮隔振台以及核心的三维空气弹簧技术

A. DT 系列气浮隔振台 (DT Series Pneumatic Isolation Tables)

这是 Herz 的旗舰产品线,专为***灵敏度的应用设计,代表了被动隔振技术的***。
  1. 核心结构:三维空气弹簧 (3D Air Springs)
    • 技术突破:传统气浮台通常垂直方向使用气囊,水平方向依赖摩擦或连杆,导致水平隔振效果较差。Herz 的专利三维空气弹簧在垂直和水平方向均采用纯气动恢复力。
    • 性能指标
      • 超低固有频率:垂直与水平方向的固有频率均可低至 0.5 Hz - 1.0 Hz,实现全频段的***隔振。
      • 各向同性:在X、Y、Z三个方向提供一致的隔振性能,消除因方向性差异导致的图像漂移或测量误差。
    • 优势:无需复杂的机械连杆,无摩擦,无滞后,对微小振动极度敏感且响应线性。
  2. 高阻尼技术 (High Damping Integration)
    • 痛点解决:低固有频率系统容易在启动或受到冲击时产生长时间振荡。Herz 在空气弹簧内部或支撑结构中集成了高阻尼机制(通常利用特殊橡胶复合材料或粘性流体阻尼)。
    • 效果:在保持极低固有频率(高隔振效率)的同时,大幅提高了系统的阻尼比。这意味着设备在受到扰动(如人员走动、关门冲击)后,能在几秒钟内迅速恢复稳定,无需等待数分钟。
    • 应用价值:极大提高了实验室的工作效率,特别适合需要频繁操作或环境干扰较大的现场。
  3. 台面选择
    • 花岗岩台面:***材料,具有极高的热稳定性、刚性和内部阻尼,天然适合精密光学。
    • 蜂窝钢结构:轻量化高刚性选项,表面经过特殊涂层处理,适用于特定洁净室环境。

B. 主动隔振模块 (Active Isolation Modules)

针对环境振动极其恶劣(如靠近地铁、重型机械)或对亚纳米级稳定性有***要求的场景,Herz 提供混合或全主动解决方案。
  1. 混合主动系统 (Hybrid Active Systems)
    • 原理:在经典的 DT 系列三维空气弹簧 基础上,集成高灵敏度地震传感器和电磁致动器。
    • 工作模式
      • 被动模式:空气弹簧负责隔离中高频振动(>2Hz)。
      • 主动模式:电子系统实时检测并抵消 0.1 Hz - 2 Hz 的超低频振动(如楼宇摇摆、慢速交通波)。
    • 优势:结合了被动系统的可靠性(断电仍可工作)和主动系统的超低频性能,是性价比***的***方案。
  2. 全主动隔振平台 (Full Active Platforms)
    • 应用场景:极端的纳米制造、引力波探测预研、超分辨定位显微镜(STORM/PALM)。
    • 功能:完全由电磁力支撑,通过数字信号处理器(DSP)实现六自由度的主动控制,可将残余振动抑制到 <1 nm RMS
    • 自动调平:无论负载如何变化或移动,系统始终保持台面***水平(精度达微弧度级)。

C. 专用组件与定制解决方案

  1. 微型隔振支脚 (Micro Isolators)
    • 专为小型台式仪器(如拉曼光谱仪、小型干涉仪)设计的紧凑型三维气浮支脚,可直接替换普通橡胶脚垫,瞬间提升设备性能。
  2. 洁净室专用版本 (Cleanroom Compatible)
    • 所有 Herz 系统均可配置为 ISO Class 1/Class 10 洁净室版本。采用低发尘材料、无油润滑部件和特殊的排气过滤系统,防止颗粒污染晶圆或光学镜头。
  3. 定制化几何结构
    • 针对非标准尺寸的设备(如大型光刻机原型、特殊形状的探测器),Herz 提供完全定制的台面尺寸、支撑点布局及负载分布优化服务。


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Herz GmbH(赫兹有限公司)成立于1986年,总部位于德国斯图加特附近的温德巴赫(Wendlingen),是全球高灵敏度振动隔离系统的***制造商。作为一家典型的“德国隐形***”,Herz 不追求大规模量产,而是专注于为光学、计量、半导体检测及生命科学领域提供纳米级稳定性的定制化解决方案。
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