半导体偏振测量解决方案

任务 LCD 生产机 – LCD 是液晶显示器的缩写 – 是一种高科技机器，用于制造和检查液晶显示器或液晶显示屏。特别的挑战是：该机器使用五轴显微系统来测量 8K LCD 显示屏内一个像素中液晶分子的三维几何结构。这些机器被应用于世界上***的 LCD 生产线上。 Axometrics 需要一种高质量的振动隔离装置来满足这些机器的需求。目标是特别保护集成显微镜免受振动的影响。只有这样，才能可靠地保证高分辨率的检查和无振动的测量结果。此外，循环解决方案应具有可重复性，并且也能在未来的生产地点轻松使用。

半导体/半导体 ***度和脉冲耦合用于左侧修剪案例

动态晶圆台在激光微加工设备中得到了应用。该系统可以处理200毫米和300毫米的晶圆，并以高产量和***的过程控制令人印象深刻。在Link Trimming过程中，使用激光束有选择地切断存储芯片、传感器或微LED上的 microscopic细线路（Fuses）。这样可以实现特定电路的激活、编程或断开，以确保在测试阶段发现缺陷时，后期芯片的正常功能。该应用要求三维位置控制极其***，并且需要稳定的激光聚焦——结构尺寸仅为1–2 µm，要求的位置精度小于100 nm，重复精度小于40 nm。 Bilz被委托设计用于Dynamic Wafer Stage的振动隔离。目标是保护Link Trimming过程中的敏感激光加工过程免受干扰的环境和地基振动的影响。挑战在于找到一种解决方案，既要满足机械要求，又要符合洁净室要求，并且能够集成到紧凑的系统架构中。

半导体设备隔振解决方案